南大光電300346、容大感光300576、上海新陽300236、強力新材300429、江化微603078、光華科技002741、金龍機電300032、晶瑞股份300655、飛凱材料300398、廣信材料300537、怡達股份300721、寶通科技300031、西隴科學002584、同益股份300538、永太科技002326、捷捷微電300623、愛司凱300521、蘇大維格300331、芯源微688037。
以下是部分企業的詳細介紹:
1、南大光電
憑借30多年來的技術積累優勢,公司先后攻克了國家863計劃MO源全系列產品產業化、國家“02—專項”高純電子氣體(砷烷、磷烷)研發與產業化、ALD/CVD前驅體產業化等多個困擾我國數十年的項目,填補了多項國內空白。2017年,南大光電承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發與產業化項目。
2、容大感光
公司注重知識產權的培育和發展,至今已獲得的國家發明專利和已被受理的國家發明專利近20項。為了更好的利用強大的外部資源、提升自身的研發能力,公司十分注重與科研院所的產學研合作,在2008年與北京師范大學聯合成立了國內較早創立者“光刻材料聯合實驗室”。
3、上海新陽
公司已立項研發集成電路制造用高分辨率193nmArF光刻膠及配套材料與應用技術,擁有完整自主可控知識產權的高端光刻膠產品與應用即將形成公司的第三大核心技術,公司在國內半導體功能性化學材料領域的領先地位將更加穩固。